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OsakaVacuum日本大阪真空高性能渦輪分子泵
簡(jiǎn)要描述:

OsakaVacuum日本大阪真空TG1000F高性能渦輪分子泵
OsakaVacuum日本大阪真空高性能渦輪分子泵

特點(diǎn):
輕巧設(shè)計(jì)
節(jié)能
迅速啟動(dòng)
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強(qiáng)
多種通信模式
符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

  • 產(chǎn)品型號(hào):TG1100F
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-04-19
  • 訪  問(wèn)  量:20

詳細(xì)介紹

OsakaVacuum日本大阪真空高性能渦輪分子泵

OsakaVacuum日本大阪真空高性能渦輪分子泵


  • 輕巧設(shè)計(jì)

  • 節(jié)能

  • 迅速啟動(dòng)

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大氣沖擊能力強(qiáng)
    經(jīng)400次大氣沖擊驗(yàn)證

  • 多種通信模式

  • 符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半導(dǎo)體制造

  • 電子槍排氣,離子源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理,表面改質(zhì)

  • 各種電子部件的制造

  • 分析,試驗(yàn)裝置

  • 管球制造,光學(xué)部件制造

  • 加速器,放射線設(shè)施,核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究開(kāi)發(fā)

※排放腐蝕性氣體時(shí),請(qǐng)選擇耐腐蝕性的TG-M,TG系列。



型號(hào)TG1100FTG1100F*A*-60/TG1100F*W*
吸氣口法蘭VG200/ISO-B200/CF200
排氣速度N2 (L/s)1100
N2(附帶金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s)1000
H2 (L/s)720
最大壓縮比N21×108
H21×104
極限壓力(Pa/Torr)<1×10-6/<7.5×10-9
最大氣體流量※1※2(sccm)330860
啟動(dòng)時(shí)間※2(min) 7-95.5-7
停止時(shí)間※2(min) 27-3212-15
允許輔助壓力(Pa/Torr)330/2.5
推薦輔助泵(L/min)≧250
安裝角度任意
重量VG?ISO-B/CF(kg) 28/27
控制器型號(hào)TC1104TC1103※3

※1:輔助泵的容量是500L/min情況下的最大容許流量
※2:電源型號(hào)不同的話規(guī)格也不同。(標(biāo)準(zhǔn):TC1104)
※3:空冷需要更換空冷風(fēng)扇(TG800F***-60)

[ 使用環(huán)境溫度 ]

極限壓力保證環(huán)境溫度是10~23℃。另外,容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10~32℃,水冷情況下是10~40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時(shí)容許冷卻水溫是10~35℃。

[ 對(duì)應(yīng)氣體種類 ]

由于排氣的氣體種類不同,可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對(duì)應(yīng)的氣體種類請(qǐng)咨詢銷售人員。


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