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詳細(xì)介紹
Osaka大阪真空高性能進(jìn)口輕型渦輪分子泵
Osaka大阪真空高性能進(jìn)口輕型渦輪分子泵
輕巧設(shè)計(jì)
節(jié)能
迅速啟動(dòng)
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強(qiáng)
經(jīng)400次大氣沖擊驗(yàn)證
多種通信模式
符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
半導(dǎo)體制造
電子槍排氣,離子源排氣
FPD制造
表面處理,表面改質(zhì)
各種電子部件的制造
分析,試驗(yàn)裝置
管球制造,光學(xué)部件制造
加速器,放射線設(shè)施,核聚變研究
熱處理
研究開(kāi)發(fā)
※排放腐蝕性氣體時(shí),請(qǐng)選擇耐腐蝕性的TG-M,TG系列。
型號(hào) | TG240F | |
吸氣口法蘭 | CF100/ISO-R100 | |
排氣速度 | N2 (L/s) | 240 |
N2(附帶保護(hù)金屬網(wǎng)) (L/s) | 230 | |
H2 (L/s) | 160 | |
最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
H2 | 4×104 | |
極限壓力 | ISO-R(Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 |
CF(Pa/Torr) | <5×10-7/<3.8×10-9 | |
最大氣體流量※1 | N2 (sccm) | 70 |
啟動(dòng)時(shí)間 | (min) | 5.5-6 |
允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 700/5.3 |
推薦輔助泵 | (L/min) | ≧80 |
安裝角度 | 任意 | |
重量 | ISO-R/CF(kg) | 7.3/10.5 |
控制器型號(hào) | TC245(一體型)※2 | |
輸入電壓(V) | DC24V | |
所需最大電力(W) | 75W |
※1:輔助泵的容量是80L/min情況下的最大容許流量
※2:可選擇泵和控制器一體型(TC245)或者是分離式型(TC246)
[ 對(duì)應(yīng)氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同,可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對(duì)應(yīng)的氣體種類請(qǐng)咨詢銷售人員。
[ 使用環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10~23℃。另外,容許環(huán)境溫度是8~38℃
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