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玉崎科學XTRAIA MF-2000半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度 玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度 XRR、EDXRF 和 XRD 測量工具
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半導體設備XHEMIS TX-3000理學Rigaku反射熒光X射線光譜儀 半導體設備理學Rigaku反射熒光X射線光譜儀 TXRF光譜儀 超快速金屬污染測繪 兼容最大 300mm 晶圓
半導體設備TXRF-V310理學Rigaku反射熒光X射線分析儀 半導體設備理學Rigaku反射熒光X射線分析儀 采用轉子式高輸出X射線發(fā)生器和新設計的入射X射線單色儀。 使用直接TXRF測量方法實現(xiàn)了10 8 原子/cm 2的過渡金屬LLD水平。 它可實現(xiàn)相同的精度和高通量,測量時間僅為封閉式 X 射線管的 1/3。